Spot
- Tension d’accélération : 20 kV jusqu’à 100 kV (utilisation routine 80kV)
- Courant de sonde : jusqu’à 100nA
- Taille du spot : 3nm
- Résolution actuelle : 20nm mais il est théoriquement possible de descendre en dessous de 15nm
- Contrôle de la dose d'insolation : en temps réel, avec des incrément de 0.5 Hz
Platine
- Grandissement : jusqu'à x 300 000
- Platine contrôlée par interférométrie laser (précision de positionnement λ/2048 soit 0.31 nm)
- Déplacement : X 200mm, Y 200 mm
Chargement
- Transfert d’échantillon du sas à la platine auto
- Cassette 10 chucks
-
Chuck : clampages électrostatique et mécanique.
Échantillons
- Taille des échantillons : wafers de 2 à 8 " (20,3 cm); masques (rectangulaires) jusqu'à 7 " (17,8 cm), échantillons carrés de 5mm à 20 mm.
- Champ d’écriture : jusqu’à 800 µm avec une résolution de 1nm
- Surface insolable : 198 mm x 198 mm