Métrologie

Mesure de rugosité

(interférométrie hétérodyne à 633nm)

z<300 nm crête à crête

fréquences spatiales entre qq mm-1 et qq 100 mm-1

bruit = qq 0,001 nm RMS

Mesure par interférométrie sur une trace circulaire d'1 mm.

Montage mécanique nécessaire pour une surface perpendiculaire au laser.

Plan, concave, convexe, traité ou non.

par pointé du centre de courbure et d'un sommet par viseur auto-collimateur

surfaces concaves.

R < 6 m: incertitude = ± 1,7.10-3 R²/Ø² mm

Mesures sans contact (ouverture 100 mm)
Plans, concaves, convexes, non traités
Référence plane (λ/100)
Références sphériques (de f/0,75 à f/10,3)

(WYKO NT1100)