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Métrologie

Activité de métrologie

Mesure de rugosité

 Zygo 5500

(interférométrie hétérodyne à 633nm)

z<300 nm crête à crête

fréquences spatiales entre qq mm-1 et qq 100 mm-1

bruit = qq 0,001 nm RMS

Mesure par interférométrie sur une trace circulaire d'1 mm.

Montage mécanique nécessaire pour une surface perpendiculaire au laser.

Plan, concave, convexe, traité ou non.

 

 

Mesure de rayons de courbure

Banc de mesure

par pointé du centre de courbure et d'un sommet par viseur auto-collimateur

surfaces concaves.

R < 6 m: incertitude = ± 1,7.10-3 R22 mm

Caractérisation de surfaces

Interféromètre de type Fizeau

Mesures sans contact (ouverture 100 mm)
Plans, concaves, convexes, non traités
Référence plane (λ/100)
Références sphériques (de f/0,75 à f/10,3)

Caractérisation de surfaces

Microscope à décalage de phase

(WYKO NT1100)

 

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